--- title: 伺服系統 MINAS A7 特設網站 | 應用事例 | Panasonic Industrial Device Sales description: MINAS A7家族適用於半導體製程「旋轉模切機」「模切機」「晶片移載」「黏接設備」「IC處理器」「基板檢查設備」,於加工機則是可使用於「金屬加工機」「雷射加工機」「沖壓加工機」「射出成形機」等。 --- # 可提升設備性能的各種應用 MINAS A7 ![装置性能を引き上げるMINAS A7](https://idstw.panasonic.com/hubfs/fa/lp/202309/minas-a7/J/use-case/header_bg.jpg) 追求進一步的微型化· 加工精度 有助於提高設備性能 ## 半導體製程 對於半導體晶片的微型化、多層化的需求，在各製程中也要求 更高精度的控制。 #### 旋轉塗佈機 ![img1-1](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img1-1.jpg?width=987&height=437&name=img1-1.jpg)  透過高速旋轉晶片，均匀地鋪展藥液，有助於薄膜化。 馬達最高轉速 7150 r/min #### 模切機 ![img1-2](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img1-2.jpg?width=987&height=437&name=img1-2.jpg) 透過提高定位精度，由晶圓形成微型IC晶片。 提高定位精度 #### 晶片移載機 ![img1-3](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img1-3.jpg?width=987&height=437&name=img1-3.jpg) 透過AI進行的超高精度調整，抑制尖端的細微振動， 實現微型晶片的高速拾取&定位。 precAIs TUNING #### 黏接設備 ![img1-4](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img1-4.jpg?width=987&height=437&name=img1-4.jpg) 透過高響應的負載控制，可防止基板安装時對微型晶片 的損傷及安装不良。 感測器直連反饋（壓力控制） #### IC處理器 ![img1-5](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img1-5.jpg?width=987&height=437&name=img1-5.jpg) 即使在高負載狀態下反覆進行靈活的加減速， 也能减少因過載而引起的異常停止。 擴大過負載運輸時間 #### 基板檢查設備 ![img1-6](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img1-6.jpg?width=987&height=437&name=img1-6.jpg) 透過龍門機構的雙軸實現高速且順暢的動作， 實現高速檢查。 高精度龍門控制 ## 加工設備 随着產品的高功能化和高密度化， 加工構成產品的每個零件的機器也要求高精度控制。 #### 金屬加工機 ![img2-1](https://idstw.panasonic.com/hs-fs/hubfs/fa/lp/2023_12/minas-a7/J/use-case/img2-1.jpg?width=1084&height=480&name=img2-1.jpg) 高響應伺服可提高增益，實現奈米等級的超精密加工。高響應伺服可提高增益，實現奈米等級的超精密加工。 編碼器解析度27bit 速度響應頻率4.0kHz 以上 #### 雷射加工機 ![img2-2](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img2-2.jpg?width=987&height=437&name=img2-2.jpg) 針對加工對象物高度方向的工件不均勻，以高響應進行補正，實現高品質的加工。 感測器直接自動對焦控制 #### 沖壓加工機 ![img2-3](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img2-3.jpg?width=526&height=728&name=img2-3.jpg) 您可以輕鬆構成無需上位程式 的高響應壓力控制運動模型。 Block 動作功能 #### 射出成形機 ![img2-4](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img2-4.jpg?width=987&height=437&name=img2-4.jpg) 透過高響應的壓力控制使填充壓力穩定， 抑制填充不良和毛刺的發生。 感測器直接反饋 (壓力控制） #### 彎折機 ![img2-5](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img2-5.jpg?width=526&height=728&name=img2-5.jpg) 伺服内全閉環控制可實現 位置和壓力控制的高速 精準彎折加工。 感測器直接反饋 （壓力控制） ![img2-6](https://ac-blog.panasonic.co.jp/hs-fs/hubfs/FA/minas-a7/J/use-case/img2-6.jpg?width=987&height=760&name=img2-6.jpg)